烘箱又稱干燥爐、電熱鼓風(fēng)烘箱、熱風(fēng)循環(huán)烘箱等。這是一種在固定的盒子里控制恒溫的裝置。

工業(yè)和科學(xué)研究中使用的烤箱不同于家庭主婦使用的廚房燒烤烤箱，后者不用于烘烤食物。工業(yè)烘箱溫度范圍寬，控溫精度高，長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，甚至可以選擇帶真空功能的真空烘箱。上述特性決定了它可以廣泛用于高溫實(shí)驗(yàn)、熱處理和干燥處理的各種目的。2、檢查溫控器是否準(zhǔn)確，假如不準(zhǔn)確的話，要及時(shí)調(diào)整溫控器的傳感器修正值或者是靜態(tài)補(bǔ)償。有許多行業(yè)需要它，如化工、電子通訊、塑料、電纜、電鍍、五金、汽車、光電、橡膠制品、模具、噴涂、印刷、航空航天等行業(yè)。從事這些行業(yè)的朋友會(huì)不時(shí)使用我們的干燥箱進(jìn)行各種測(cè)試和實(shí)驗(yàn)。

真空箱注意事項(xiàng)：

真空箱經(jīng)多次使用后，會(huì)產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時(shí)應(yīng)更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出距離來(lái)解決?？鞠湓O(shè)備放置處要有一定的空間,四面離墻體要有一定距離,建議要有2M以上。當(dāng)真空箱干燥溫度高于200℃時(shí)，會(huì)產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象（除6050、6050B、6051、6053外），此時(shí)拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角扳手?jǐn)Q松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來(lái)解決。

放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤(rùn)滑。（如凡士林）

除維修外，不能拆開左側(cè)箱體蓋（6090及6210型除外）以免損壞電器控制系統(tǒng)。

真空箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭，應(yīng)用松軟棉布擦拭。11.若真空箱長(zhǎng)期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)，以免電器元件受潮損壞，影響使用。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過(guò)程。使用粘合劑的防腐劑。熱風(fēng)循環(huán)烘箱——真空干燥箱使用方法真空箱調(diào)試在真空度調(diào)試完畢后，可作如下操作：a。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過(guò)程是吳層的過(guò)程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開門高溫滅菌烘箱等。若提高物料的初溫、經(jīng)真空過(guò)濾前處理、降低物料含濕量等，均能提高真空干燥速度。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。