真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點(diǎn)

1、高壓氮?dú)鈴?qiáng)度檢測(cè)真空箱內(nèi)進(jìn)行，保護(hù)操作者安全

2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、。

3、檢漏儀的自動(dòng)校準(zhǔn)功能以及自動(dòng)校準(zhǔn)程序，可隨時(shí)校準(zhǔn)檢漏儀的靈敏度、準(zhǔn)確度。

4、特殊設(shè)計(jì)的檢測(cè)程序判斷出具體的有漏工件，并通過(guò)燈光和液晶操作屏顯示出來(lái)。

5、技術(shù)的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。

7、PLC控制，使系統(tǒng)運(yùn)行清晰明了，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)及控制。

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氦質(zhì)譜檢漏常見(jiàn)問(wèn)題

氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測(cè)儀器，那么在使用過(guò)程中我們又遇到哪些問(wèn)題呢？今天科創(chuàng)鼎新的小編就和大家來(lái)一起總結(jié)一下！

一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環(huán)境本底低

（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染，不與其他物質(zhì)反應(yīng)，可以混合到任意濃度

（3）無(wú)毒，可以用在食品工業(yè)

（4）在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分

（5）比空氣輕，運(yùn)動(dòng)速度快

（6）氣體分子很小，可以穿過(guò)微小的泄漏孔

（7）其它氣體也可以

二、噴氦檢漏的注意事項(xiàng)。

（1）被測(cè)系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔，干燥，無(wú)油

（2）如果測(cè)量條件發(fā)生變化（溫度），需要重新對(duì)檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)

（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應(yīng)注意方向

（4）盡量不要使用密封脂（油脂會(huì)大量吸附氦氣）

（5）不要向環(huán)境釋放大量氦氣

（6）真實(shí)的漏率信號(hào)應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號(hào)，相對(duì)緩慢下降的信號(hào)

三、漏率（leak rate）

在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。

注：采用國(guó)際單位制時(shí)，漏率單位為：Pa?m3/s。

科創(chuàng)真空擁有先進(jìn)的技術(shù)，我們都以質(zhì)量為本，信譽(yù)高，我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)氦檢漏感興趣，歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服，或撥打咨詢(xún)電話。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。真空箱式氦檢漏系統(tǒng)【工作環(huán)境】工作環(huán)境:1、長(zhǎng)×寬×高（設(shè)備占地面積約）：依據(jù)實(shí)物實(shí)際面積為準(zhǔn)。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間都是使用干泵檢漏儀。