真空檢漏

超聲波法

該方法實際上是聽音法的一種。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。檢測時，可以直接使用超聲波檢測器，根據(jù)檢測儀表指針是否擺動，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進(jìn)行分離，在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。

超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。

檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時，就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。

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真空設(shè)備檢漏

如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強后，關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強，可得出壓強/時間曲線。真空箱氫氣檢漏設(shè)備真空打檢機/真空檢漏機采用聲學(xué)技術(shù)，非接觸式在線檢測方式，速度800瓶每分鐘。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強不隨時間變化，說明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始壓強上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。

并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。設(shè)備應(yīng)適用氣密性檢測、應(yīng)具有大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續(xù)生產(chǎn)的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、安全、可靠。