氫氣檢漏法的主要設(shè)備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對(duì)于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對(duì)檢測(cè)管道的充氣和排氣過程自動(dòng)化控制。

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真空設(shè)備檢漏

如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強(qiáng)后，關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升。用真空計(jì)每隔一定時(shí)間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng)，可得出壓強(qiáng)/時(shí)間曲線。真空設(shè)備檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個(gè)檢氦儀，通過檢測(cè)氦氣的含量來確定是否有泄漏。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強(qiáng)不隨時(shí)間變化，說明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強(qiáng)期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時(shí)間的延長(zhǎng)而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始?jí)簭?qiáng)上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。

北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬(wàn)?？苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮?dú)錂z漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇)，在現(xiàn)場(chǎng)需要查找系統(tǒng)漏點(diǎn)時(shí)，先排空制冷劑，然后逐段充注5%氫 95%氮的示蹤氣體，用手持式氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板，對(duì)氦氣都會(huì)產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集板上，并儲(chǔ)存一定時(shí)間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測(cè)試端口與檢漏儀相連，

待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測(cè)超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，