真空設(shè)備檢漏

北京科儀創(chuàng)新真空專注氣密性檢測(cè)設(shè)備研發(fā)，生產(chǎn)、銷售20年。由于氫分子移動(dòng)速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應(yīng)速度和更好的檢漏精度。目前氦氣資源的匱乏。在市場(chǎng)上氦氣的價(jià)格一直居高不下。大大增加企業(yè)生產(chǎn)檢漏的運(yùn)營(yíng)成本。2012年北京科儀創(chuàng)新真空全球首推氫氣檢漏系統(tǒng)。在我國(guó)氫氣制備工藝成熟。價(jià)格便宜。詳細(xì)請(qǐng)咨詢圖片上的電話聯(lián)系獲取詳細(xì)技術(shù)資料。

水壓法

對(duì)壓力容器或密封裝置進(jìn)行試驗(yàn)時(shí)，先將容器或密封裝置內(nèi)部裝滿水，再用水泵向里注水，觀察設(shè)備或密封裝置周圍有無(wú)水漏出。該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關(guān)。檢漏時(shí)必須耐心等待，直至水泄漏出來(lái)。因此，只能抽象地表示靈敏度的高低。根據(jù)被檢物表面是否有水滲出，很容易判斷出泄漏點(diǎn)。但是，對(duì)于結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的設(shè)備，肉眼可能無(wú)法直接觀察到泄漏點(diǎn)。只要水壓不變，泄漏率大小就不會(huì)發(fā)生很大變化，因而可以獲得較為一致的結(jié)果。當(dāng)然由于檢漏人員的觀測(cè)技巧不同，檢測(cè)結(jié)果也不會(huì)完全相同。除水泵外，水壓法檢漏無(wú)需大型、貴重設(shè)備，因而很經(jīng)濟(jì)。

真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會(huì)吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來(lái)。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

一個(gè)真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實(shí)的，也是沒(méi)有必要的，所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用的具體條件，對(duì)漏率指標(biāo)提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng)，這些漏孔就是允許的。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量，稱da允許漏率，簡(jiǎn)稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)的一項(xiàng)主要指標(biāo)，也是檢漏的依據(jù)。

如果已知允許的總氣載，而沒(méi)有具體指明究竟有多大，那么，在設(shè)計(jì)合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。

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