什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。(3)地定量控制流量質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

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流量控制器的特點(diǎn)

地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；假設(shè)流管橫置，熱探頭壁面與流體溫差為60*C，則當(dāng)流體流速大于1m/s時(shí)，G/e2<。有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0～5 sccm，流量范圍可達(dá)0～200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%， 流量控制范圍是滿量程的2～100% 量程比為-- 50:1， 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點(diǎn)是：當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí)，通過(guò)自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差

工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進(jìn)口、出口壓差變化在多大范圍時(shí)，能保持通過(guò)流量控制器的流量恒定不變。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產(chǎn)品工作壓差范圍達(dá)到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計(jì)。流量控制器的性能特點(diǎn)可按設(shè)計(jì)或?qū)嶋H要求設(shè)定流量，能自動(dòng)消除系統(tǒng)的壓差波動(dòng)，保持流量不變。

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流量控制器

越來(lái)越多的朋友對(duì)氣體質(zhì)量流量計(jì)﹑質(zhì)量流量控制器產(chǎn)生了濃厚的興趣。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa。