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ZF500有機蒸發(fā)鍍膜機
廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學(xué)、電子、能源等相關(guān)學(xué)科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等,半導(dǎo)體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。
系統(tǒng)組成:
主要由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺、 真空抽氣及測量、膜厚測試 、電控系統(tǒng)組成。
技術(shù)指標(biāo):
極限真空度4×10-5Pa,系統(tǒng)漏率:1.2×10-7PaL/S; 恢復(fù)真空時間:40分鐘可達(dá)6.0×10 Pa-4
真空室:D形真空室,尺寸350× 400mm
樣品臺:尺寸為4英寸4平面樣品;
有機束源爐:數(shù)量:4支,標(biāo)準(zhǔn)型600度控溫;
樣品架:安裝加熱爐。基片的溫度從室溫至600℃(硅片上表面的溫度,只需標(biāo)定一次即可)
4套擋板系統(tǒng):動密封手動控制;
樣品擋板(1套),磁力撥叉,
膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999?
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多源蒸發(fā)系統(tǒng)介紹
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)供應(yīng)電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品,以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。
主要用途:
系統(tǒng)主要用來生長EL OEL分子有機電致發(fā)光器件薄膜的研究工作
該類設(shè)備為雙室?guī)痔紫浣Y(jié)構(gòu)的有機、無機、多源有機、無機氣相分子沉積設(shè)備,采用直線式結(jié)構(gòu),由一個金屬材料生長、氧化物生長室、一個有機材料生長室和一個手套箱組成,金屬材料生長和氧化物生長室以及進樣室/氧化物生長室之間通過空氣鎖聯(lián)接,樣品通過帶遠(yuǎn)程手控盒功能的電動磁力耦合裝置在兩個生長室之間手動傳遞。可選手套箱。7、滾動腔體特殊設(shè)計,沉積速度快,成膜時間短,大大提高生產(chǎn)效率?! ?/span>
真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。
1、在光學(xué)薄膜領(lǐng)域中的應(yīng)用:增透膜、反膜、截止濾光片、防偽膜等。
2、在建筑玻璃方面的應(yīng)用:陽光控制膜、低輻射玻璃、 防霧防露和自清潔玻璃等。
3、在防護涂層中的應(yīng)用:飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等。
4、在硬質(zhì)涂層中的應(yīng)用:切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。
5、在太陽能利用領(lǐng)域的應(yīng)用:太陽能集熱管、太陽能電池等。
6、在集成電路制造中的應(yīng)用:薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。
7、在信息存儲領(lǐng)域的應(yīng)用:磁信息存儲、磁光信息存儲等。
8、在信息顯示領(lǐng)域的應(yīng)用:液晶屏、等離子屏等。
9、在裝飾飾品上的應(yīng)用:手機殼、表殼、眼鏡架、五金、 小飾品等鍍膜。
10、在建筑玻璃方面的應(yīng)用:陽光控制膜、低輻射玻璃、 防霧防露和自清潔玻璃等。
11、在防護涂層中的應(yīng)用:飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等。
12、在硬質(zhì)涂層中的應(yīng)用:切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。
13、在太陽能利用領(lǐng)域的應(yīng)用:太陽能集熱管、太陽能電池等。
14、在集成電路制造中的應(yīng)用:薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。
15、在信息存儲領(lǐng)域的應(yīng)用:磁信息存儲、磁光信息存儲等。
16、在信息顯示領(lǐng)域的應(yīng)用:液晶屏、等離子屏等。
17、在裝飾飾品上的應(yīng)用:手機殼、表殼、眼鏡架、五金、 小飾品等鍍膜。