廣州帕納光電科技有限公司----VARIAN TV301分子泵維修公司；

開發(fā)過程中，其驗(yàn)證流程的嚴(yán)格程度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。執(zhí)行的每一個步驟均經(jīng)過仔細(xì)測試，包括壽命測試，沖擊測試，抗振動測試，包裝測試，溫度測試，傅立葉振動分析，噪音測試等。立式分子泵的裝配工藝要比臥式分子泵簡單，所以近些年立式分子泵的發(fā)展速度很快。我們對多種不同設(shè)計(jì)生產(chǎn)了樣泵并進(jìn)行了測試，這并不局限于幾個樣品。我們?yōu)榇藢ｉT制造的樣泵多達(dá)1000 余臺，對各項(xiàng)結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行了廣泛測試和分析。在終產(chǎn)品定型時，僅選用了結(jié)果的結(jié)構(gòu)和方案；

抽速是分子泵的核心參數(shù)，提高轉(zhuǎn)速是加大抽速為直接的方法之一，隨著動平衡技術(shù)的發(fā)展，分子泵轉(zhuǎn)子可順利地在超高轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀，在它以20000~30000r/min的高速旋轉(zhuǎn)的同時，葉片將動量傳給氣體分子。隨著材料科學(xué)的發(fā)展，分子泵轉(zhuǎn)子材料也發(fā)生了變化，可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成，這使轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速得到進(jìn)一步提高。除此之外，近些年還出現(xiàn)了多種新型分子泵，如可有效抽取水分子的低溫型分子泵，可在強(qiáng)磁場、強(qiáng)腐蝕條件下工作的陶瓷分子泵，以及可實(shí)現(xiàn)無接觸支撐、、高壽命的磁懸浮分子泵等。

水泵性能的技術(shù)參數(shù)有流量、吸程、揚(yáng)程、軸功率、水功率、效率等；根據(jù)不同的工作原理可分為容積水泵、葉片泵等類型。容積泵是利用其工作室容積的變化來傳遞能量；葉片泵是利用回轉(zhuǎn)葉片與水的相互作用來傳遞能量，有離心泵、軸流泵和混流泵等類型。

油封式旋片泵（即油泵）

極限真空能到達(dá)10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題，如果沒有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供的真空環(huán)境里會存在一定含量的碳?xì)浠衔?，影響使用；并且油泵操作溫度較高，如果散熱效果較差，會直接影響客戶的測試結(jié)果；另外還需要定時換油，總體來說維護(hù)成本高，能耗大。如果軸承用的是高品位的潤滑脂在正常運(yùn)行條件下可運(yùn)行15000小時或兩年。

對軸承來說，潤滑是左右其性能的重要問題。延遲啟動——系統(tǒng)容積過大,先啟動前級泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時，啟動分子泵。潤滑劑或潤滑方式的合適與否將大大影響軸承的壽命。如果軸承用的是高品位的潤滑脂在正常運(yùn)行條件下可運(yùn)行15000小時或兩年。對電機(jī)功率大于18.5KW的水泵或在不利的條件下比如環(huán)境溫度高、空氣濕度大、灰塵多、侵蝕性強(qiáng)的工業(yè)環(huán)境應(yīng)提前檢查軸承，必要時可安排5000小時更換一次潤滑脂。

①、泵入口：對正、對稱擰緊

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　?、邸⒗鋮s水：無漏水；入口水壓0.2MPa；水溫20±５℃；水質(zhì)澄清無沉淀

　　注意：環(huán)境溫度：風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口壓強(qiáng)：強(qiáng)制風(fēng)冷<0.1Pa;自然風(fēng)冷<0.01Pa