廣州帕納光電科技有限公司----安捷倫渦輪分子泵修理中心；

工作條件

　　（1）轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。

　?。?）氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。

分子泵特點(diǎn)

　　油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。

　　脂潤滑分子泵：油脂量，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。

　　全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。

20世紀(jì)70年代末開始，人們對真空裝置提出更高的要求，既除了能獲得高真空之外，還需要能夠在排氣之后導(dǎo)入各種各樣的氣體，并使其在真空裝置中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。所采用的泵應(yīng)能高抽速地排除這類富于反應(yīng)性的氣體，需要的排氣能力甚至比低溫冷凝泵還要高。為了滿足這種日益增長的需求，渦輪分子泵逐漸推廣普及。5KW的水泵或在不利的條件下比如環(huán)境溫度高、空氣濕度大、灰塵多、侵蝕性強(qiáng)的工業(yè)環(huán)境應(yīng)提前檢查軸承，必要時可安排5000小時更換一次潤滑脂。

1912年，德國人W.Gaede發(fā)明了世界上臺分子泵，它的轉(zhuǎn)子直徑為50mm，轉(zhuǎn)子上切有8個尺寸不同的槽，轉(zhuǎn)速為12 000r/min，抽速約為1.5L/s。這種泵的工作原理與現(xiàn)代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。

1.分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等)

2.半導(dǎo)體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)

3.光學(xué)/玻璃(熱保護(hù),增透、反射、光學(xué)濾光膜)

4.鍍膜(表面保護(hù)，裝飾涂料，顯示器，屏幕)

5.真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金、)

6.泄漏檢測(真空系統(tǒng)、車輛的油箱,安全氣囊

7.研究實(shí)驗(yàn)(醫(yī)學(xué)成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應(yīng)用和許多更多)

采用全新設(shè)計(jì)和制造方法所推出的款真空產(chǎn)品，它延續(xù)了前代產(chǎn)品所具有的超高壓縮比、出色的極限真空、非常好的前級耐壓和無油等特點(diǎn)；更結(jié)合了突破性技術(shù)，擁有的質(zhì)量和可靠性的同時，它緊湊的設(shè)計(jì)更包含了眾多讓人眼前一亮的全新功能。

現(xiàn)代分子泵的基本結(jié)構(gòu)基本定型為為臥式和立式兩種。臥式分子泵具有抽氣時轉(zhuǎn)子受力均勻，軸承定位受力狀態(tài)好，使用壽命長，軸承更換過程中轉(zhuǎn)子位置不動，維修方便等特點(diǎn)。立式分子泵的裝配工藝要比臥式分子泵簡單，所以近些年立式分子泵的發(fā)展速度很快。

分子泵，我是公司新推出的第二代分子泵產(chǎn)品，主要針對工業(yè)真空領(lǐng)域進(jìn)行全新的設(shè)計(jì)和優(yōu)化升級，是國內(nèi)首推的系列控制器一體化的工業(yè)真空分子泵產(chǎn)品。從我一出生，我的主人就告訴我，倫家可不是一般的真空泵。我可是一種高速旋轉(zhuǎn)的動量傳輸型真空泵呢，我的工作壓強(qiáng)一般是10^-1Pa～10^-8Pa，是實(shí)現(xiàn)高真空和超高真空的重要真空獲得設(shè)備之一。二是增大了動環(huán)軸向調(diào)整、移動的阻力，在工況變化頻繁時無法適時進(jìn)行調(diào)整。

流量不足系統(tǒng)靜揚(yáng)程增加

處理方法：檢查液體高度和系統(tǒng)壓；

阻力損失增加

處理方法：檢查管路及止逆閥等障礙；

殼體和葉輪耐磨環(huán)磨損過大

處理方法：更換或修理耐磨環(huán)及葉輪；

其他部位漏液

處理方法：檢查軸封等部位；

泵葉輪堵塞、磨損、腐蝕

處理方法：清洗、檢查、調(diào)換。