廣州帕納光電科技有限公司----VARIAN TV301分子泵；

軸封發(fā)熱填料壓得太緊或磨擦

處理方法：放松填料，檢查水封管；

水封圈與水封管錯位

處理方法：重新檢查對準；

沖洗、冷卻不良

處理方法：檢查沖洗冷卻循環(huán)管；

機械密封有故障

處理方法：檢查機械密封。

正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形

　　原因：過熱，負載大

　　解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)

分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

　　原因：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

　　解決方式：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

分子泵與骨架密封式旋片泵和渦輪增壓器式干泵比照，工作環(huán)境更加清除，而且可以保證十分高的真空泵值。但是，分子泵不能在大氣壓強下工作上，盡量和其他能夠 在大氣壓強下工作上的粗抽真空泵(骨架密封式旋片泵或渦輪增壓器式干泵)協(xié)作運用。原因：負載太大，系統(tǒng)真空度不夠解決方法：檢查系統(tǒng)分子泵軸承為什么會燒毀原因：①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵解決方法：①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵。分子泵構(gòu)造復雜、價錢較為貴，高速運行工作上情況下有振動。VARIAN TV301分子泵

分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行真空包裝的基本原理不一樣，應用了角動量傳輸基本概念，使分子式定項流通性而被排出去泵外，從而保證真空包裝的目的。VARIAN TV301分子泵

塑料薄膜堆積指在圓晶表層轉(zhuǎn)化成多種多樣塑料薄膜，這種塑料薄膜能夠 是導體和絕緣體、半導體材料或電導體。他們由不一樣的原材料構(gòu)成，是應用多種多樣加工工藝生長發(fā)育或堆積的。研究實驗(醫(yī)學成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應用和許多更多)。通用性的堆積技術性有有機化學液相淀積（CVD）、揮發(fā)和磁控濺射PVD。VARIAN TV301分子泵

一般來說，在其中也要參雜超低溫（≤500℃）淬火工藝等熱處理方法，用于提高金屬材料層和半導體材料中間的低電阻器觸碰、清除熱應力等。機器設備運作全過程中必須高清潔的真空，一般選用以磁懸浮分子泵主導的隔膜真空泵真空設備。VARIAN TV301分子泵

進出口貿(mào)易法蘭盤、冷卻循環(huán)水安裝

①、泵通道：對正、對稱性扭緊

②、泵出入口：避免 移位

③、冷卻循環(huán)水：無滲水；通道壓力0.2MPa；溫度20±５℃；水體回應無沉淀

留意：

工作溫度：風冷式需低于32℃;水冷散熱能致40℃

通道氣體壓強：強制性風冷式<0.1Pa;當然風冷式<0.01Pa。VARIAN TV301分子泵

電纜線安裝常見問題

①、對正槽孔插進

②、用螺帽扭緊，邊插邊擰

③、查驗及時。VARIAN TV301分子泵