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一、真空管路或系統(tǒng)內(nèi)返油 1.油蒸氣返流至真空管路或系統(tǒng)中 2.油飽和蒸汽壓不對(duì) 3.停泵時(shí)，油返流 4.截留閥板上的密封件毀壞 5.抽支氣管路底端密封件浸蝕或毀壞

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按性能特點(diǎn)和用途分類

（1）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。

用于較高真空度的羅茨泵不能直接排大氣，因此串聯(lián)二級(jí)的羅茨泵仍需要一個(gè)機(jī)械泵或水環(huán)泵后級(jí)。羅茨泵串聯(lián)機(jī)組，有兩種配置方式，其一是羅茨泵—羅茨泵—機(jī)械泵；其二是羅茨泵—羅茨泵—水環(huán)泵。兩種方式均是以一羅茨泵為主泵，而另一羅茨泵為前級(jí)，兩羅茨泵抽速關(guān)系由經(jīng)驗(yàn)確定