Parylene真空微米涂裝是一種新型的涂裝技術(shù)

Parylene真空微米涂裝（高分子封裝）是國(guó)外開發(fā)應(yīng)用的一種新型的涂裝技術(shù)。獨(dú)特的「真空氣相沉積」制程，是在常溫的真空室中，讓活性分子在被涂裝的物件表面生成完全披覆的聚合物薄膜。可涂裝到任何形狀的表面，且不產(chǎn)生死角。包括尖銳的錂角隙縫內(nèi)部與極細(xì)微的中。膜厚均可達(dá)到一致性的被覆在產(chǎn)品的任何部位。則薄膜厚度可由（0.001mm-0.05mm）。

       Parylene的熱分解起源于苯環(huán)兩側(cè)的C-C鍵，通過(guò)將二上的H原子替換為F原子，就得到HT型Parylene，目前還未商品化，但HT型所擁有的大于420的使用溫度和的介電常數(shù)，使其在航空及半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景尖銳的棱邊，裂縫里和內(nèi)表面。

      Parylene采用了一種獨(dú)特的化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）。CVD工藝早應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的外延生長(zhǎng)，整個(gè)過(guò)程是氣態(tài)反應(yīng)，又在真空條件下進(jìn)行，因而可以獲得非常均勻的涂層，達(dá)到其它方法難以實(shí)現(xiàn)的同形性。

        Parylene涂層具有介電性能、低的介質(zhì)損耗和高的介電強(qiáng)度，同時(shí)具有良好的機(jī)械性能和耐輻射性能。Parylene的介電強(qiáng)度主要是因?yàn)镻arylene能形成無(wú)缺陷和無(wú)其它填充物的薄膜。Parylene具有尺寸穩(wěn)定性和低溫性能，在不改變器件尺寸的情況下提供1.5KV,2.0KV 或者較高的耐電壓擊穿性能。因此，Parylene可用作微電子，微馬達(dá)的表面處理和絕緣體。使用較純度的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

       微電子、半導(dǎo)體：使用較純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

       傳感器和換能器：自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，涂層無(wú)，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。