光波超精密——靜壓氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

氣浮導(dǎo)軌的作用：是保證機(jī)器運(yùn)行平穩(wěn)、精度高的關(guān)鍵。

氣浮導(dǎo)軌類型：

一、氣浮導(dǎo)軌

二、直線球?qū)к?

三、行狀氣浮導(dǎo)軌：1)矩形導(dǎo)軌2)三角形導(dǎo)軌3)燕尾式導(dǎo)軌

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氣浮導(dǎo)軌工作原理：氣浮導(dǎo)軌以氣浮軸承為核心。采用氣體軸承小孔r1節(jié)流形成高壓氣體腔體P0，在導(dǎo)軌與氣體軸承之間形成具有一定承載能力的剛性薄膜。

氣體軸承的性能要求：承載能力，承載剛性(承載力變化時(shí)承載力每改變一微米)，氣體消耗，抗氣振能力。對(duì)于超高精度測(cè)量機(jī)來說，氣浮間隙和氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要。

氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：具有不磨、不磨的特點(diǎn)，由于勻差作用，局部運(yùn)動(dòng)直線度小，角擺動(dòng)能小，測(cè)量機(jī)一般采用氣浮導(dǎo)軌。

氣浮靜壓i軸承不同結(jié)構(gòu)尺寸的阻尼差異較大，在承載方向上阻尼較小，對(duì)外界引起的振動(dòng)和空氣軸承自身固有的微振動(dòng)衰減較慢，影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和測(cè)量精度，因此在設(shè)計(jì)出氣浮塊后，必須對(duì)其阻尼系數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè)和評(píng)價(jià)。設(shè)計(jì)了一種測(cè)量計(jì)算氣浮阻尼的儀器。常規(guī)阻尼測(cè)量方法需要記錄氣浮振動(dòng)，并對(duì)計(jì)算阻尼進(jìn)行再分析，在記錄氣浮振動(dòng)的過程中，由于依靠氣浮塊的振動(dòng)來帶動(dòng)記錄筆，因此記錄結(jié)果誤差較大，因而所測(cè)阻尼結(jié)果誤差也較大。由于傳統(tǒng)的阻尼測(cè)量過程繁瑣，測(cè)量結(jié)果誤差較大，提出采用先進(jìn)的傳感器和分析儀進(jìn)行阻尼測(cè)量，測(cè)量結(jié)果接近真值，方法簡(jiǎn)便。其用途十分廣泛。

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測(cè)得靜壓式導(dǎo)軌氣浮塊阻尼特性的試驗(yàn)檢測(cè)裝置，包括：沖擊式導(dǎo)軌1、加速度傳感器保護(hù)盒2、加速度傳感器3、氣浮塊4、模態(tài)分析儀5、工作臺(tái)6、氣源7、氣源減壓閥8、單向閥9、供氣壓力閥10、氣浮塊11；氣源7依次通過氣源減壓閥8、單向閥9與氣源減壓閥11連接；沖擊式導(dǎo)軌3、沖擊式導(dǎo)軌1與氣浮塊4連接；氣浮塊4放置在工作臺(tái)6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導(dǎo)軌1和沖擊式導(dǎo)軌1分別與加速度傳感器保護(hù)盒5連接；

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氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成，每個(gè)承導(dǎo)面至少有兩個(gè)氣浮塊，氣浮塊與承導(dǎo)面間隙中氣體壓力 p的分布狀態(tài)能左右氣浮塊的性能。通過這個(gè)實(shí)驗(yàn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量得到：供氣量一定時(shí)，氣浮塊所受負(fù)荷增大，氣浮厚度減??；當(dāng)負(fù)荷減少時(shí)，氣浮厚度增大。

高精度工作臺(tái)常用導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等，滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已有多年歷史，滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí)，摩擦系數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現(xiàn)象，但其摩擦系數(shù)大，抗沖擊性能差，運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，使用壽命低等優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。

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機(jī)導(dǎo)是傳動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)的基礎(chǔ)，也是傳動(dòng)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一.由于空氣粘性低，不易爬行、振動(dòng)小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)，因此本試驗(yàn)裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌設(shè)計(jì).空氣靜壓導(dǎo)軌是將具有一定壓力的空氣通過節(jié)流器送入導(dǎo)軌間隙，通過靜壓使導(dǎo)軌懸浮起來，在導(dǎo)軌面之間形成一層極薄的氣膜，氣膜厚度基本保持恒定。