光波超精密——閉式空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測量儀器等設(shè)備的長導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負(fù)荷變化小的場合。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(動壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動導(dǎo)軌，因滾動體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項精度指標(biāo)中比較重要的兩項。

開式靜壓導(dǎo)軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；(2)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來決定，因此在載荷較小時，氣膜剛度較低。

總之，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運動部件，除了在其運動方向上有一個自由度外，其它運動自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——閉式空氣導(dǎo)軌

小孔節(jié)流器矩形空氣靜壓導(dǎo)軌采用俯視圖和剖面圖。壓力為導(dǎo)向器工作時，氣源氣流通過進(jìn)氣孔受到節(jié)流作用，氣體從進(jìn)氣孔流出后壓力下降，然后進(jìn)入承載氣膜，并向四周擴(kuò)散流動，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環(huán)境壓力，在承載板與工作臺面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環(huán)境大氣作用相差甚遠(yuǎn)，可獲得導(dǎo)軌的承載力。由于導(dǎo)軌在移動過程中不與支承體直接接觸，基準(zhǔn)表面的摩損較小，所以其潤滑精度高，使用壽命長。當(dāng)負(fù)荷一定時，氣動靜壓導(dǎo)軌和軌道之間自動保持相應(yīng)的氣膜厚度，使承載力和負(fù)荷平衡，終實現(xiàn)氣動導(dǎo)軌的重量平衡。

光波超精密技術(shù)研究院——閉式空氣導(dǎo)軌

設(shè)備基本配置：裝置主要由高精度花崗石導(dǎo)軌組系統(tǒng)、精密氣浮工作臺系統(tǒng)、移動驅(qū)動系統(tǒng)、長導(dǎo)軌電、氣傳輸隨動系統(tǒng)、CCD 影像系統(tǒng)、溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。

自動驅(qū)動功能和影像測量功能的配置

3、設(shè)備的簡單規(guī)格：3.1、精密導(dǎo)軌采用高精度花崗巖組拼接，長度按客戶需求，高精度直線導(dǎo)軌的工作面應(yīng)無劃傷、裂紋、夾層、銹蝕等影響設(shè)備氣浮位移性和設(shè)備絕i對穩(wěn)定性的質(zhì)量缺陷。

導(dǎo)軌直線度：水平方向：0.003 mm/m 4000mm 0.015 mm； 若裝置行程 6 米以上即需要拼接，單根導(dǎo)軌長度 4 米。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——閉式空氣導(dǎo)軌

3.2 、導(dǎo)軌前端獨立的工作臺（不小于 1000x630）mm，安置備用鑲嵌件（螺紋孔），以放置激光測量系統(tǒng)。

3.3 、主支撐采用專用調(diào)整工裝，氣浮支撐調(diào)整裝置，每根導(dǎo)軌 3 個，其余采用 5 個輔助千斤頂支撐。3.4、滑動工作臺系統(tǒng)：滑動工作臺為氣浮結(jié)構(gòu)。

3.4.1. 手動方式可實現(xiàn)微調(diào)，保證對線及其他定位（自動方式另有方案）。

3.4.2. 氣浮滑動工作臺上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學(xué)附件及標(biāo)準(zhǔn)  裝置。

3.4.3. 氣吸附滑動工作臺承載能力大于 50 ㎏。