凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造.每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的級別。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于標(biāo)級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

凈化車間的原則：

1.、杜絕把灰塵帶入凈化車間;

(一).空氣:

(1).通過過濾網(wǎng)凈化空氣:

常用的過濾網(wǎng):玻璃纖維和玻璃石棉等. 玻璃纖維:能過濾0.3 m 的懸浮塵粒,

甚至達(dá)到0.04 m 的懸浮塵粒;過濾效果:99.99%

玻璃石棉:根據(jù)石棉的的直徑大小決定;

例:1m的石棉過濾1 m 的塵粒.

2、進(jìn)入凈化車間必須穿著無塵衣.

不得使用容易產(chǎn)生灰塵的材料、設(shè)備、備品等.使用凈化車間用品.(無塵紙、無塵本、圓珠筆等)減少沒必要的人員的活動、設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn).制定設(shè)備的擺放結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案.沒必要的物品禁止帶入到凈化車間.凈化車間中禁無塵衣.凈化車間內(nèi)物品數(shù)量限制在少的限度.物品擺放作出規(guī)定,減少空氣亂流.

另外，如果的溫度過高，則HEAP 或ULPA 這類濾層有可能被燒穿，使得危害更形雪上加霜，故而種假設(shè)無法成立。其次為蓄煙的問題，高架地板因?yàn)橛虚_洞板的關(guān)系，會使得下層回風(fēng)區(qū)火災(zāi)所產(chǎn)生的穿過開洞板，向上進(jìn)入凈化車間中而無法在高架地板下蓄積，使得排煙點(diǎn)的有效排煙范圍僅限于排煙閘門周圍附近，因此只能抽取到少量的，故第二種假設(shè)亦難成立。一般而言，此類設(shè)計(jì)模式常見于老舊廠房的凈化車間中，主要是因?yàn)閺那暗陌雽?dǎo)體廠在建立時會考慮到煙控系統(tǒng)，后來因?yàn)樾枰?，只好在一般排氣風(fēng)管上開洞，在加裝控制閘門后做為排煙之用，如此對原來的設(shè)備及廠務(wù)系統(tǒng)影響少。