光波超精密技術(shù)研究院——單軸三坐標氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌氣膜的厚度大于兩個摩擦面的幾何不規(guī)則度，在氣膜中形成純流體摩擦其摩擦阻力完全為氣體的粘性所致.由于氣浮導(dǎo)軌無固體摩擦，因而具有可靠、長壽命、以及摩擦系數(shù)極i小等特點，其傳動效率i高，速度適應(yīng)性好，且由于氣體的可壓縮性和流動性，因而具有誤差均化作用，能保持一定的精度.氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣腔內(nèi)壓力分布及承載面積與氣腔內(nèi)壓力有關(guān)。氣浮滑動工作臺上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學(xué)附件及標準裝置。

測量機的氣浮導(dǎo)軌(氣墊)按其作用可分為承載式氣墊、導(dǎo)向式氣墊和壓向式氣墊.圖3為 X向?qū)к墯鈮|分布(俯視圖). X向?qū)к墴o驅(qū)動側(cè)有4個氣墊，上下各2個.驅(qū)動側(cè)有6個氣墊，其中①、②、③是承載式氣墊，依靠它們來承受整個移動橋的重量，并保持一定的工作間隙.當移動橋沿 X向移動時，它們使橋框平行于 XY平面運動，即限制了 Z向直線運動和繞 X、 Y軸轉(zhuǎn)動.④、⑤是引導(dǎo)式氣墊，限制了橋框繞 Z軸的直線度運動誤差和旋轉(zhuǎn).⑥是預(yù)緊性氣墊，使氣墊④、⑤在導(dǎo)軌間有一定的預(yù)緊力.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——單軸三坐標氣浮導(dǎo)軌

直線氣浮導(dǎo)軌提供了一種非接觸式空氣軸承，可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承式滑動。由于采用了一體化的系統(tǒng)封裝，線性空氣滑軌由鋁多孔碳軸承(“平臺”)和精密鋁導(dǎo)軌組成。

線型氣動滑塊具有已獲專利的氣動軸承設(shè)計，即多孔介質(zhì)技術(shù)?，可以通過在軸承表面形成薄而堅硬的氣層來消除摩擦。碳素的自然滲透能力保證了空氣的均勻流動。這一獨特的設(shè)計提高了精度和操作效率，并在氣源失靈時提供了堅固、抗碰撞的設(shè)計。

光波超精密——單軸三坐標氣浮導(dǎo)軌

獨立的具有隔、防震功能的整體加強的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)（建議的結(jié)構(gòu)形式）。

地基振幅要求：8 微米，（0～6）Hz；3 微米，（6～50）Hz；8 微米，大于 50Hz。

設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求：≤2 mm。

地基的實施結(jié)構(gòu)形式：由建筑設(shè)計人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進行設(shè)計和建造。

注意：如果您的測量設(shè)備周圍有大的震源，請根據(jù)地基圖紙準備地基。震源指所有可能對地基產(chǎn)生振動的影響源，含大的加工機床，磨床，沖床，交通要道等。

氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應(yīng)用。

氣浮導(dǎo)軌基于氣體動靜壓效應(yīng)，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——單軸三坐標氣浮導(dǎo)軌采用直線導(dǎo)軌的滑塊上安裝的油嘴，可直接用注油槍注入油脂，也可將專用油管接頭與供油機的供油油管連接，進行主動潤滑。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。通常與伺服驅(qū)動，傳感器組成閉環(huán)系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應(yīng)用

超精密工作臺常用導(dǎo)軌有滾動導(dǎo)軌、靜壓導(dǎo)軌等，滾動導(dǎo)軌的應(yīng)用己經(jīng)有好多年，滾動導(dǎo)軌的運動精度達到微米級，摩擦因數(shù)可以降低到0.002至0.003。當導(dǎo)軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時，氣膜剛度較低總之，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點是滾動摩擦阻力小，沒有滑動導(dǎo)軌的爬行、浮動現(xiàn)象，但滾動導(dǎo)軌的摩擦大、抗震性差、運動不平穩(wěn)、壽命低，在應(yīng)用方面有所欠缺。

靜力學(xué)：承受不大于額定載荷時，有足夠的強度及硬度，并確保在負載運動中自身磨損和變形不超過設(shè)計極限。

運動學(xué)：約束不大于額定負載，沿方向運動，并確保運動過程中，與負載任意配合面間的運動間隙不變。