【廣告】
高純管道在高純氣體輸送中的意義
在不銹鋼熔煉制材過程中,每噸可吸收大約200g的氣體。管材的這一特性至關重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內表面有一個極高的光滑度,而且,應當具有很高的耐磨特性。不銹鋼材加工完畢,不僅其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過時,金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中,污染純凈氣體。當管內氣流為不連續(xù)流動時,管材對所通過的氣體形成壓力下吸附,氣流停止通過時,管材所吸附的氣體又形成解析,而解析的氣體同樣作為雜質進入管內純凈氣體中。同時,吸附、解析周而復始,使得管材內表面金屬也會產生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純凈的氣體。管材的這一特性至關重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內表面有一個極高的光滑度,而且,應當具有很高的耐磨特性。電子氣體的特點
電子氣體(Elect ron ic gases) :半導體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。半導體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類:1、普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2、N2、O2、Ar、He等。按其門類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級、L S I (大規(guī)模集成電路) 級、VL S I (超大規(guī)模集成電路) 級和UL S I (特大規(guī)模集成電路)級。