氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

收集極是對準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子流一般只有10-13?10-12A，要使小電流放大器diyi極輸入信號電壓夠大，則輸入電阻必需很大。diyi級放大用的靜電計管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電許管放在高真空的質(zhì)譜室中。

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)一般包括：

1、主泵：一般用護散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa，其抽速應(yīng)導(dǎo)氣載匹配。

2、前級真空泵：一般采用旋片式機械真空泵，在以分子泵為主泵的系統(tǒng)中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速導(dǎo)主泵匹配。

3、預(yù)抽真空泵：一般與前級真空泵共用一個泵，也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。

4、冷阱：分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。護散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜室正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦質(zhì)譜檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。

1、檢漏閥：接在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質(zhì)譜檢漏儀采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

2、真空規(guī)：一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī)，又稱冷規(guī))來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

3、標(biāo)準(zhǔn)漏孔：一般氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔(大多為薄膜滲氦型)，用它來校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示進行定標(biāo)。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用行業(yè)

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