什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器

選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么？

這一點(diǎn)關(guān)系到用戶的切身利益，涉及的問(wèn)題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據(jù)廠家提供的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮?dú)猓?biāo)定氣體）等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標(biāo)定，請(qǐng)向廠家說(shuō)明。有關(guān)質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)的問(wèn)題，以下還有進(jìn)一步解答。

C. 確定所需標(biāo)準(zhǔn)量程。廠家一般有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程，您實(shí)際使用的流量值應(yīng)接低于某個(gè)標(biāo)準(zhǔn)量程值。標(biāo)準(zhǔn)量程的選取要避免過(guò)大或過(guò)小。質(zhì)量流量的誤差指標(biāo)是按滿量程值的百分比規(guī)定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過(guò)大，則測(cè)量值的相對(duì)誤差較大。

怎樣選擇流量顯示單位？

我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶的要求設(shè)定。］一些客戶——諸如上文提到的水處理工廠和環(huán)境空氣監(jiān)測(cè)站，在難題后，棄用了普通的熱式原理儀器而轉(zhuǎn)投ALICAT層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器，從而親身體會(huì)到了ALICAT設(shè)備眾多的優(yōu)勢(shì)之一。按百分比顯示的方式，即是將 MFM / MFC 的流量測(cè)量值按其占滿量程的百分比來(lái)顯示，例如，規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC，當(dāng)顯示值為80%時(shí)，實(shí)際的流量為40SCCM。對(duì)任何一種規(guī)格的MFM/MFC，滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直觀，有的用戶不習(xí)慣。

按 SCCM或 SLM顯示，出廠時(shí)對(duì)流量顯示的范圍與相應(yīng)的MFM/MFC的量程進(jìn)行匹配，使用時(shí)顯示值即是流量值，很直觀，符合習(xí)慣，為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后，原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是顯示值需要修正。

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器內(nèi)置MCU多功能微處理器, 可以對(duì)采集到的流量信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化處理, 進(jìn)行溫度線性校正, 具有比模擬式產(chǎn)品更高的精度和線性性能。數(shù)字化的PID控制功能, 能提高穩(wěn)定性和智能化地改變響應(yīng)特性。二、設(shè)備在使用條件上必須進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定，該設(shè)備時(shí)屬于在線使用高精的測(cè)量?jī)x表，長(zhǎng)期使用時(shí)一定要定期的進(jìn)行標(biāo)定。串行通訊, 使MFC更便于進(jìn)行計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制。數(shù)字化智能化的MFC逐步替代全模擬的MFC, 這是技術(shù)發(fā)展的必然潮流。