氦質(zhì)譜檢漏儀

高速排氣性能：在微漏模式下He的排氣速度達到5L/s ;2  2  采用與本體獨立的平版觸摸式顯示器：搭載無線控制系統(tǒng)；2  可進行直觀操作：的識別性及簡易的測試畫面；2  支持多種真空泵：油回轉(zhuǎn)泵、渦旋型干泵；2  裝有方便使用及操作簡單的推車，901系列 也提供低底盤型號；

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氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質(zhì)量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，

高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。