流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。

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流量控制器特點

1、 穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比，可達100：1

3、 高達0.1%的重復(fù)性和1.0級的精度等級

4、 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

5、 內(nèi)置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準(zhǔn)

6、 標(biāo)配三種顯示方式：數(shù)字、模擬和本地面板

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流量控制器的特點

地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。

適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品流量范圍可達0～5 sccm，流量范圍可達0～200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%， 流量控制范圍是滿量程的2～100% 量程比為-- 50:1， 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。二、溫度影響用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫，溫度影響必須考慮。

流量控制器的具體內(nèi)容

1.提高開表率在儀表設(shè)備管理中，開表率的定義是：(儀表總臺數(shù)一未正常使用的儀表臺數(shù))/儀表總臺數(shù)。因此，提高開表率就是要減少無法投入正常使用的儀表。

2.節(jié)省費用這里所說的費用除了儀表購置費之外，還應(yīng)計入附件購置費、安裝調(diào)試費、運行費、備品備件費、維護和定期校準(zhǔn)(檢定)費，而質(zhì)量流量控制器的平均壽命攤?cè)氲恼叟f費也不是可忽視的。

3.提高流量測量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報警的流量儀表如果不可靠，應(yīng)該聯(lián)鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導(dǎo)致不應(yīng)有的停車，造成損失。工業(yè)爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導(dǎo)致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的流量儀表如果不可靠，容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯誤信息，導(dǎo)致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào)，破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定，影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗，造成損失。國際標(biāo)草案ISO/DIS11451認為流量測量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場剖面畸變影響?？梢钥闯觯髁績x表的可靠性是較為重要的。

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