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影響誠薄機(jī)誠薄硅片平整度的因素有哪些?
要保證硅片厚度的一致性。因?yàn)楫?dāng)研磨時(shí),由于磨料分布不均勻,使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會不一樣,所以要想保證硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時(shí)間時(shí)將行星齒輪片翻轉(zhuǎn)后再進(jìn)行研磨,從而確保硅片厚度的一致性,同時(shí)也讓硅片厚度公差得以縮小,具體要研磨多久才進(jìn)行翻車專為適當(dāng),是要根據(jù)減薄厚度和測試結(jié)果來定的。
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減薄機(jī)設(shè)備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營項(xiàng)目:雙面研磨機(jī),內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機(jī),軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
減薄機(jī)本設(shè)備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍(lán)寶石、其他半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅(qū)動器組件,砂輪,砂輪主軸及驅(qū)動組件,絲桿導(dǎo)軌進(jìn)給組件及其他輔助配件構(gòu)成。
硅片減薄機(jī)
主要用途:
非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。如: LED藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。
工作原理:
1.本系列橫向研磨機(jī)為精密磨削設(shè)備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產(chǎn)。
點(diǎn):
1.可使工件加工厚度減薄到0. 02m厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在 0.002m范圍內(nèi)。
2.減薄; LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um o硅片每分鐘可減薄250um o
3.系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
立式減薄機(jī)IVG-200S設(shè)備特點(diǎn)
1.操作簡單
該設(shè)備采用PLC控制系統(tǒng),通過簡單的培訓(xùn),操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導(dǎo)下,熟練操作設(shè)備。當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí), 屏幕向?qū)崾境鲥e(cuò)編碼,易于排除故障。
2.設(shè)計(jì)安全
該設(shè)備的設(shè)計(jì)處處為使用者的安全著想,保證操作加工的安全。
3.保證精度
磨盤的進(jìn)給采用微米步進(jìn)電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng),保證長時(shí)間的加工精度。
4.各輪獨(dú)立驅(qū)動
磨盤及工件盤均采用獨(dú)立的電機(jī),分別采用變頻或伺服控制,轉(zhuǎn)速可任意調(diào)整,且控制簡便。
5.冷卻水循環(huán)使用
冷卻水箱配有雜質(zhì)過濾系統(tǒng),冷卻水可循環(huán)使用,即節(jié)約成本,又減少了對環(huán)境的環(huán)境。一臺冷卻水箱可同時(shí)連接多臺設(shè)備。