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發(fā)布時(shí)間:2021-01-12 16:11  






背壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用背壓法檢漏時(shí),首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中,浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天,如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔,氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中,使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi),被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率,需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。在壓力的作用下,如果這些元件存在漏點(diǎn),必然會(huì)有氦氣通過(guò)這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。

背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè),可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。

背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外,每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率,在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢,排除大漏的可能。

背壓法的檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗(yàn)方法方法112 密封試驗(yàn)》,主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。





檢漏氣體測(cè)試前切勿使用水槽試漏

檢漏氣體測(cè)試的漏孔通常非常微小或者是狹長(zhǎng)的毛細(xì)管,如果在檢漏氣體測(cè)試前將漏孔置于水槽中,這些漏孔或者毛細(xì)管則將被水堵塞或充滿,而堵在漏孔中的水因?yàn)楸砻鎻埩Φ脑?,?huì)非常不易從小孔中驅(qū)逐,從而大大影響檢漏結(jié)果。解決這一問(wèn)題的辦法,只能通過(guò)漫長(zhǎng)的干燥過(guò)程來(lái)排除這些水分。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后,再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣。

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氦氣檢漏的原理


大家都知道氣分子內(nèi)部結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,化學(xué)性質(zhì)并不活潑并且密度較小,由于這些特性氦氣不會(huì),也不容易和其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。因?yàn)檫@些性質(zhì),所以氦氣經(jīng)常被用來(lái)檢漏。

其實(shí)任何可以感測(cè)氣體分壓之質(zhì)譜儀,均可以作為真空系統(tǒng)漏氣之偵測(cè),通常為分子量較輕的氣體,氦氣滲透漏孔, 的質(zhì)譜測(cè)漏儀,多將質(zhì)普分析器固定在特定質(zhì)量,通常為氦氣的質(zhì)量,以氦氣為漏氣體在欲偵測(cè)處到處噴氦氣,觀察質(zhì)普是否改變,來(lái)辦別是否有漏氣,這是氦氣檢漏的原理。如果充注前未抽空,試件中的空氣將被擠壓至幾何空間的終端,而檢漏氣體不可能進(jìn)入這個(gè)部位,從而潛在的漏孔將僅釋放空氣,檢漏儀則不能檢測(cè)到這些漏孔。






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