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半導體氦檢漏設備行業(yè)專家在線為您服務【科創(chuàng)真空】

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發(fā)布時間:2020-12-14 14:41  






真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內(nèi),將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進行連接,在真空箱門關閉后,系統(tǒng)能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程,生產(chǎn)節(jié)拍快,檢漏精度高。3.壓力哀減法(壓差法)就是將被檢工作,利用壓縮機或壓縮空氣(一般1-3Mpa)連接進一個壓力表,待充上氣后,密封(確保封頭不漏),觀察壓力表24小時內(nèi)壓力降情況,如有漏則壓力降低,但不能判斷什么地方漏,漏多少。工藝流程編輯A1:安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空,同時工件內(nèi)充高壓氮氣-----大漏及強度檢測;B1:若A1檢測不通過,則系統(tǒng)報警,大漏工件序號顯示-----檢測程序中止;B2:若A1檢測通過,放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式,微漏檢測;C1:若B2檢測不通過,則系統(tǒng)報警-----循環(huán)檢,小漏工件序號顯示------檢測程序中止;C2:若B2檢測通過,真空箱內(nèi)充入大氣,同時工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開門,檢測完成。

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氦氣檢漏設備的特點和優(yōu)點

說到氦氣檢漏設備的特點,首先,我們還需要注意核心部件分子泵,使用原裝進口的檢漏儀專用的分子泵。美國AD放大器用于有效降低氦氣檢漏設備的噪聲并提高氦氣檢漏設備的靈敏度。 180度非均勻磁場質譜儀設計用于聚焦和高靈敏度。

氦氣檢漏設備的檢漏口具有較高的耐壓性,檢漏率范圍廣,可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。 離子源燈絲采用氧化釔銥金絲,壽命長,靈敏度高。 獨特的三屏切換,信息替換更豐富,檢漏更方便; 它具有快速氦氣清洗功能和快速響應功能。

氦氣檢漏設備可實現(xiàn)一鍵歸零; 采用全自動液晶觸摸彩屏顯示,實現(xiàn)智能自動化,操作更方便,簡單可靠; 中英文菜單,菜單可以一鍵實現(xiàn),實際使用效果突出。






用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm), 在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也

就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。

2、氦的質量小(相對分子質量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同-漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。





1、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氮信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有 危險,另- -方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn):大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。







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