相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

在單向流潔凈室內(nèi)，潔凈氣流不是一股或幾股，而是充溢全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋效果，而是靠潔凈氣流推出效果將室內(nèi)臟空氣沿全部斷面排至室外，到達(dá)凈化室內(nèi)空氣的意圖。所以，前聯(lián)邦德國(guó)有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被揉捏的弱空氣射流”。潔凈空氣就比如一個(gè)空氣活塞，沿著房間這個(gè)“氣缸”，向前（下）推動(dòng)，而使塵粒只能前（下）進(jìn)，沒(méi)有回來(lái)，把原有的含塵濃度高的空氣揉捏出房間。在單向流潔凈室以及單向流凈化設(shè)備中，能夠發(fā)現(xiàn)沿壁的和兩個(gè)過(guò)濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的污染傳輸?shù)缴喜吭偎拖聛?lái)，破壞了上述“活塞流”的狀況，損害極大。關(guān)于和外界有開(kāi)口相通的部分凈化設(shè)備，例如潔凈工作臺(tái)，這種氣流將引射外界污染氣流，在規(guī)劃上必定要減小過(guò)濾器邊框處所占的無(wú)效面積，更要設(shè)法使空間的壁面盡量挨近過(guò)濾器有用迭風(fēng)截面。

凈化工程在必定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所格外規(guī)劃的房間，不管外在空氣條件怎么改變，室內(nèi)均具有保持原先所設(shè)定請(qǐng)求之潔凈度、溫濕度及壓力等功能?？諝鈨艋髯鳂I(yè)原理分類自動(dòng)凈化類無(wú)濾網(wǎng)型依據(jù)這些商品的自動(dòng)滅菌原理可分為銀離子技能、負(fù)離子技能、低溫等離子技能、光觸媒技能和凈離子群離子技能。