實(shí)驗(yàn)室氣體的危險(xiǎn)性

1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會(huì)對(duì)工作人員及儀器設(shè)備造成傷害；

2.多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用，如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏，就可能對(duì)工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害；

3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa，即150公斤/cm2，如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激1射出去，其能量對(duì)人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。

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電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險(xiǎn)的供應(yīng)系統(tǒng)，因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護(hù)需要專業(yè)、有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。

（1）特氣柜又分為全自動(dòng)特氣柜與半自動(dòng)特氣柜，每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式，在一拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制。全自動(dòng)氣柜維護(hù)自動(dòng)化程度較高，并且安全可靠。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門，設(shè)置換瓶吹掃，程序自動(dòng)進(jìn)行抽氣，置換等動(dòng)作，根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，一般至少吹掃60次以上，負(fù)壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

（2）管路的維護(hù)，由于不同的氣體性質(zhì)不一樣，對(duì)管路維護(hù)的方法也不相同，對(duì)腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮?dú)獯祾撸∟2purge），一般至少反復(fù)30次，對(duì)于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復(fù)的抽真空，抽完后關(guān)閉閥門，1小時(shí)后會(huì)出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會(huì)造成管道泄漏的誤導(dǎo)，遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。漏率（漏氣速率）：是指單位時(shí)間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量。

以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負(fù)壓保壓為-12PSI，保壓時(shí)間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負(fù)波動(dòng)。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

真空檢漏的方法很多，氦質(zhì)譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進(jìn)入真空系統(tǒng)或容器中；

漏率（漏氣速率）：是指單位時(shí)間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量；

1小可檢漏率：是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率；

檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率；

反應(yīng)時(shí)間：也稱響應(yīng)時(shí)間，是指從檢漏方法開始實(shí)施（如噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時(shí)所需要的時(shí)間；

消除時(shí)間：是指從檢漏方法停止（如停止噴吹示漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時(shí)所需的時(shí)間；

漏孔堵塞現(xiàn)象：指由于真空檢漏作業(yè)操作不當(dāng)導(dǎo)致塵埃或液體堵塞漏孔，檢漏時(shí)似乎不漏氣，但一經(jīng)排氣就會(huì)出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。

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