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實(shí)驗(yàn)室氣體的危險(xiǎn)性
1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會(huì)對(duì)工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;
2.多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用,如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏,就可能對(duì)工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;
3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對(duì)人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。含氫40%,其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。
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高純供氣系統(tǒng)
本公司生產(chǎn)的RZ-YA-D系列全自動(dòng)氣純化裝置功能說明:
A、具有全自動(dòng)功能,使用操作簡(jiǎn)單,開、停機(jī)只需按兩個(gè)按鈕,不需扭動(dòng)任何閥門,這些工作都由PLC程序自動(dòng)進(jìn)行;這還克服了手動(dòng)和半自動(dòng)機(jī)型因人為操作失誤引起的氣體不純,因此純氣質(zhì)量也更加穩(wěn)定。
B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7吋液晶觸摸屏,實(shí)時(shí)模擬顯示工作流程狀態(tài)和各種參數(shù)顯示,并隨時(shí)可以實(shí)現(xiàn)各參數(shù)的修正,極大的方便工作人員的操作。
C、可根據(jù)用戶需要配備在線分析儀,時(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)。