手套箱故障分析

一、按鍵無法操作

1. 手套箱壓力是否正常；

2. 檢查PLC的通訊線是否松動；

3. 公共端24M、M、COM等的接線有松動。

二、真空泵操作不了

1. 請查看真空泵泵體上的按鈕開關(guān)是否打開，“0  OFF” “1  ON”；

2. 查看真空泵的斷路器是否跳閘。

三、真空擋板閥打不開

1. 工作氣壓力太低，壓力范圍應(yīng)該是0.4-0.6MPa之間；

2. 擋板閥未通電。

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手套箱常見故障及解決辦法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱調(diào)試或誤操作。

辦法：停止循環(huán)，開啟清洗，清洗至100ppm以下，開啟循環(huán)。

2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4MPa或主閥信號故障

原因：氣源壓力不足。

辦法：換氣瓶，增大壓力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕顯示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力過大，造成跳閘。

辦法：維修真空泵后，打開電柜，合上跳閘開關(guān)。

真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。以上是由艾明柯科技有限公司發(fā)表內(nèi)容，如有需要，歡迎撥打圖片上的熱線電話。在有機真空腔室中設(shè)有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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