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施工方案1、確定整體設(shè)計方案;2、對現(xiàn)場細(xì)部考察,了解客戶對材料品牌或其他方面的特殊要求;3、深化圖紙:包括設(shè)計說明、文字方案、工程預(yù)算、平面圖、立面圖、部面圖、色彩效果圖、關(guān)鍵部位大樣圖、給排水、電氣、暖通等體與細(xì)節(jié)等達到按圖施工的標(biāo)準(zhǔn);4、確定方案后,輸出全套施工圖紙。進行潔凈廠房的平面布置、空間布置,此時必須首先安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)與個產(chǎn)輔助區(qū)t動力公用設(shè)施區(qū)的合理布局,通常是順應(yīng)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝硫程,在確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境要求的倩況下做到有利于產(chǎn)品生產(chǎn)的操作、管理,有利于節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本。項目實施1、施工方案確認(rèn)交底,組建項目部,進行施工前人、財、物的各項準(zhǔn)備工作;2、嚴(yán)格根據(jù)施工工藝、施工進度計劃施工,確保施工質(zhì)量及進度,隱蔽工程要監(jiān)理方驗收合格后,進入下一道工序施工。3、加強客戶溝通,對項目變及時調(diào)整;4、及時上報竣工資料,做好工程交接工作。
潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。潔凈室凈化工程凈化工程的施工特點:潔凈室凈化工程設(shè)計首先要了解所設(shè)計的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點等、比如設(shè)計的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程.首先要弄清楚產(chǎn)品的特性——集成度、持形尺寸和生產(chǎn)工藝特點。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。4.進入凈化區(qū)前施工用機具、工具、材料及附件等必須在室外清潔并擦拭干凈,不得有油、銹及灰塵等,并且只能從規(guī)定的出入口進出。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風(fēng)柜)里進行控制;B.布置靈活。自帶冷源;C.大小廠房、新舊廠房都適用;D.維修頻率較低;E.車間噪音低。缺點:A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;