在進(jìn)行充氮加壓油淬時(shí)，高純氮?dú)饪梢云鸬奖Ｗo(hù)電熱原件作用。在特定的電壓與真空環(huán)境下，氮?dú)鈺?huì)進(jìn)行電離作用，實(shí)現(xiàn)離子滲氮。在冶金過(guò)程中，如果發(fā)生斷電情況，將氮?dú)獬渲脿t內(nèi)，就能夠防止?fàn)t體發(fā)生燃爆，保障操作的安全性。在冶金行業(yè)中，高純氮?dú)獾氖褂糜行У拇龠M(jìn)和推動(dòng)了行業(yè)發(fā)展，并對(duì)環(huán)境起到了一定保護(hù)作用，但冶金行業(yè)中所需要的氮?dú)獗仨氁邆漭^高的品質(zhì)，氮?dú)饧兌缺仨毐３衷?9.99%～99.999%以上，才能夠達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)。

什么是電子氣體

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠(chǎng)的晶圓片制造過(guò)程中，全部工藝步驟超過(guò)道，其中大約要使用種不同種類(lèi)的電子氣體。

電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿(mǎn)足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無(wú)二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同。

電子氣體的分類(lèi)

一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。目前電子消費(fèi)品的種類(lèi)繁多以及升級(jí)換代日趨頻繁，同類(lèi)產(chǎn)品的不同制造規(guī)模、不同級(jí)別檔次的生產(chǎn)工廠(chǎng)和科研機(jī)構(gòu)共存。

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的超大規(guī)模集成電路廠(chǎng)（氣體種類(lèi)包括等），以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括，代以上液晶顯示器工廠(chǎng)（氣體種類(lèi)包括，光纖（氣體種類(lèi)包括硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。上述工廠(chǎng)的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場(chǎng)制氣或工業(yè)園區(qū)管道集中供應(yīng)方式，一個(gè)年產(chǎn)萬(wàn)片的超大規(guī)模集成電路廠(chǎng)高純氮?dú)獾男枨蟪^(guò)，發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)和硅外延生產(chǎn)線(xiàn)的氫氣需求超過(guò)。除了普通鋼瓶（及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類(lèi)的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱(chēng)為大宗特氣，包括鋼瓶集裝格罐等。

電子氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來(lái)越大，產(chǎn)品良率和缺陷控制越來(lái)越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來(lái)越苛刻?；旧瞎I(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的較低檢測(cè)極限（直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可測(cè)到微米，而核凝結(jié)技術(shù)可達(dá)到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線(xiàn)寬已經(jīng)發(fā)展到納米，對(duì)于大宗氣體的純度都要求在級(jí)別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實(shí)驗(yàn)室超高亮度技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到以上，對(duì)于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級(jí)精餾生產(chǎn)技術(shù)指標(biāo)到達(dá)的白氨的氫氣需要采用先進(jìn)的鈀膜純化器提純至。