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高純氮氣可以起到保護電熱原件作用
經(jīng)過試驗表明,現(xiàn)階段所有的熱處理方式都能夠使用高純氮氣完成,并且產(chǎn)品質(zhì)量較高,生產(chǎn)效率具有保障。高純氮氣是一種中性氣體,主要作用是保護與加熱,還能夠防止鐵制品與銅制品等的氧化脫碳,因此高純氮氣被廣泛運用在光亮退火等工藝中。冶金行業(yè)在進行真空熱處理時,高純氮氣主要起到冷卻的作用,用于低溫工藝的處理。
在進行充氮加壓油淬時,高純氮氣可以起到保護電熱原件作用。在特定的電壓與真空環(huán)境下,氮氣會進行電離作用,實現(xiàn)離子滲氮。在冶金過程中,如果發(fā)生斷電情況,將氮氣充置爐內(nèi),就能夠防止爐體發(fā)生燃爆,保障操作的安全性。在冶金行業(yè)中,高純氮氣的使用有效的促進和推動了行業(yè)發(fā)展,并對環(huán)境起到了一定保護作用,但冶金行業(yè)中所需要的氮氣必須要具備較高的品質(zhì),氮氣純度必須保持在99.99%~99.999%以上,才能夠達到使用標準。
高純氮氣在電子行業(yè)中的運用電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料,其中高純氮氣具有較多優(yōu)勢,不僅能夠運用在冶金工業(yè)中,還能夠運用在電子行業(yè)中。由于電子行業(yè)在生產(chǎn)過程中,也會對環(huán)境造成一定影響與破壞,因此電子行業(yè)迫切需要轉(zhuǎn)型與升級,在提高生產(chǎn)工藝的基礎(chǔ)上,將對環(huán)境的影響降低。電子行業(yè)中氮氣純度必須保持在99.999%之上,才符合電子行業(yè)的生產(chǎn)標準。
高純管道在高純氣體輸送中的意義
常見氣體的種類 w* r% P( G( `5 K _* u, A& ~
電子行業(yè)中常見氣體的分類:/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O
普通氣體,也稱大宗氣體 (Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等
特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等