金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢，本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如耐磨損性、抗腐蝕性、電絕緣性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。元素線鋸的大理石切割實(shí)驗(yàn)表明線切割用于大理石等石材，效率極高，切面質(zhì)量好0。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。

快速切割

環(huán)形金剛石線鋸是一種新型的切割工具。是采用復(fù)合電鍍、滾扎，涂膠等方式，將高硬度的金剛石磨料固結(jié)在環(huán)形鋼絲基體上制成的。由于鋸絲為環(huán)形，無慣性力，因此可以實(shí)現(xiàn)高速鋸切。

金剛石線鋸是晶體加工的新秀，它能切割水晶，瑪瑙，寶石等脆硬、貴重材料，也可以實(shí)現(xiàn)黃金等有色、貴重金屬的快速切割。更重要是金剛石線鋸要向高精半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)軍。

環(huán)形金剛石線鋸將成為有發(fā)展前途的切割技術(shù)。

?線切割設(shè)備

線切割設(shè)備的速度調(diào)整：

切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān)，與切割面的大小也有關(guān)系，同種材料切割時(shí)，被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對較小一些。隨著燒結(jié)釹鐵硼日本,德國,歐盟等在專利技術(shù)的解凍,我國各大燒結(jié)廠家的協(xié)同努力,燒結(jié)釹鐵硼產(chǎn)品品位大幅提高。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面，速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡，因此當(dāng)要求切斷試樣同時(shí)還要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）時(shí)一般選用較慢的切割速度。