單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。

在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對(duì)要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場(chǎng)合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說(shuō)明了其氣流的狀況：氣流以一個(gè)方向流動(dòng)（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過(guò)整個(gè)空間。是典型的垂直流潔凈室的剖面圖。從圖中可以看出，由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^(guò)濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個(gè)空氣活塞，向下流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環(huán)至過(guò)濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒(méi)有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速，就可以很快將污染物清除。

潔凈室檢測(cè)之靜電檢測(cè)與驗(yàn)收

1.于無(wú)塵室內(nèi)離地 32 英吋 (813 mm) 處，測(cè)量該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方厘米離子數(shù)。測(cè)量點(diǎn)數(shù)： 10 個(gè)，或由業(yè)主自己決定。在同一位置做殘余電壓測(cè)試。  

1、天棚和墻、柱面裝飾工程在完成后應(yīng)按電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10694規(guī)定方法和下列項(xiàng)目進(jìn)行性能檢測(cè)：

A.天棚和墻、柱面裝飾的罩面板必須選用靜電耗散材料制成，罩面板的表面電阻值應(yīng)為1.0×105～1.0×1010Ω，一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的上限應(yīng)小于1.0×108Ω，二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的上限應(yīng)小于1.0×109Ω。一般抹灰墻面或罩面板使用非靜電耗散材料制成，其表面必須涂刷防靜電涂層，涂層材料應(yīng)符合靜電耗散材料性能標(biāo)準(zhǔn)。

B.防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和用料應(yīng)符合下列基本要求：

a.防靜電地面的表層應(yīng)是靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×105～1.0×1012Ω/□；或體積電阻率為1.0×104～1.0×1011Ω.cm。一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)防靜電地面的表層材料，其表面電阻率的上限應(yīng)小于1.0×109Ω/.cm；或體積電阻率的上限應(yīng)小于1.0×108Ω.cm。而且還應(yīng)對(duì)材料進(jìn)行靜電衰減的量化檢驗(yàn)，半衰期應(yīng)小于0.5s。

b.防靜電地面應(yīng)有導(dǎo)靜電泄放措施和接地構(gòu)造，其地面對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105～1.0×109Ω。一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)防靜電地面對(duì)地泄放電阻值的上限應(yīng)不小于1.0×107Ω；二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)防靜電地面對(duì)地泄放電阻值的上限應(yīng)不小于1.0×108Ω。

潔凈車間應(yīng)用的行業(yè)：

半導(dǎo)體 ： 半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)，由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。 隨著潔凈車間在各個(gè)行業(yè)的普及，快速替代了普通的生產(chǎn)車間，潔凈車間與普通車間相比，具有哪些特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)呢？潔凈車間在空氣過(guò)濾方式、送風(fēng)量、氣壓、人員與物品進(jìn)出管理等方面都有著嚴(yán)格處理方案。