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發(fā)布時間:2020-11-17 07:22  







光學(xué)鍍膜所觸及的制造工藝是勞作和資本密集型的,并且非常耗時。影響鍍膜本錢的因素包括被鍍膜的光學(xué)件的數(shù)量,類型,尺寸,需求鍍多少層膜以及光學(xué)件上需求鍍膜的外表數(shù)量。鍍膜選用的堆積工藝對鍍膜本錢以及鍍膜功能方面的影響也非常巨大。此外,在這之前還需求做大量的準(zhǔn)備作業(yè),以保證每個鍍膜光學(xué)件的質(zhì)量都能達到較高水平。


根據(jù)一定的要求和一定的方式把光束分成兩部分的薄膜。分光膜主要包括波長分光膜、光強分光膜和偏振分光膜等幾類。

波長分光膜又叫雙色分光膜,顧名思義它是按波長區(qū)域把光束分成兩部分的薄膜。這種膜可以是一種截止濾光片或帶通濾光片,所不同的是,波長分光膜不僅要考慮透過光而且要考慮反射光,二者都要求有一定形狀的光譜曲線。波長分光膜通常在一定入射角下使用,在這種情況下,由于偏振的影響,光譜曲線會發(fā)生畸變,為了克服這種影響,必須考慮鍍膜的消偏振問題。




因為這些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。真空鍍膜加工對?高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。

真空鍍膜加工清除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工 作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求??諝鉂穸却蟮牡貐^(qū),除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部 件認(rèn)真清洗外,還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴散泵返油,對加熱功率高的擴散泵必須 采取擋油措施。





(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,抽空后將膜料加熱到高溫,使蒸氣達到約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面,凝結(jié)而成薄膜。

(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰性氣體通入已抽空的室內(nèi),保持壓強約1.33~13.3Pa,然后將陰極接上2000V的直流電源,便激發(fā)輝光放電,帶正電的亞離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜。

(3)化學(xué)氣相沉積:通過熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物,獲得沉積薄膜的過程。




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