無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

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無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設(shè)備的表面而引起污染。8、在機房設(shè)置較重設(shè)備時，可在設(shè)備基座的地板下加裝支座，以防地板變形。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

無塵車間的設(shè)計

有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環(huán)使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機溶媒精制的干燥工序；病原體操作區(qū)；工藝過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序；非連續(xù)運行的無塵車間，可根據(jù)工藝要求，在非制劑時間，空調(diào)系統(tǒng)作值班運行，使室內(nèi)保持正壓。固體口服制劑的顆料