無塵車間潔凈室管理制度

1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。

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無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。一、盡可能的選擇標準標準，它有標準標準和非標準標準之分，咱們都知道，非標準標準的商品，損耗比較的人力物力，代價天然比標準標準的商品代價有所上升，建議盡量可以選用標準標準的商品。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設計和高的效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中 。

在應用潔凈室技術的相關行業(yè)中，電子行業(yè)對潔凈及相關受控環(huán)境依賴性大，潔凈技術在電子行業(yè)應用約占整個潔凈行業(yè)市場的67%。經(jīng)驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。在我國，電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外，平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，也是潔凈室相關供應商的重要用戶。據(jù)調查，世界上面積大的潔凈室即應用于平板顯示行業(yè)，一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。

潔凈技術對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感，因為它們能引起金屬層之間的短路。