無(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：

    不發(fā)生

　　在控制大污染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

　　采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

　　采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；

　　機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

    除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過(guò)潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。(2)室內(nèi)氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線(xiàn)，但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級(jí)1000或10,000級(jí)房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時(shí)必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無(wú)塵紙或不會(huì)脫落纖毛無(wú)塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過(guò)的不銹鋼板，作為輔助。

    個(gè)人物品，例如煙、錢(qián)包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲(chǔ)物柜里，不能把它們帶進(jìn)潔凈室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。特點(diǎn)：超高過(guò)濾效果，可有效的除去對(duì)呼吸氣管造成過(guò)敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。蘇州卓宇泰公司要求在進(jìn)入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護(hù)目鏡上所有看得見(jiàn)的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會(huì)污染產(chǎn)品。一次性鞋套每天更換一到兩次。