【廣告】
無塵車間設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國(guó)家的有關(guān)政策方針,必須做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、保證質(zhì)量、節(jié)約環(huán)保等要求。在高度潔凈區(qū)域工作的人員,應(yīng)該保證健康狀況良好。避免將病毒帶入無塵車間內(nèi),對(duì)無塵車間的環(huán)境造成破壞。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織對(duì)無塵車間的說明是:該凈化車間的空氣懸浮粒子不大于規(guī)定數(shù)值。要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn),首先要對(duì)極大量的送風(fēng)經(jīng)過濾。
制造業(yè)之所以需要無塵車間,是因?yàn)槿藛T、生產(chǎn)設(shè)備、建筑物都會(huì)產(chǎn)生污染。但無塵車間控制粒子的傳播,從而使生產(chǎn)得以在潔凈環(huán)境中進(jìn)行。無塵車間的平、剖面布置,應(yīng)考慮噪聲控制的要求,其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能,并宜使各部分隔聲量相接近。無塵車間和周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈廠房的管道,應(yīng)采取積極隔振措施。
無塵車間是指控制產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度,以便產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境中生產(chǎn)和制造。這個(gè)環(huán)境空間的設(shè)計(jì)和建造過程可以稱為凈化工程。無塵車間的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好, 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保溫層時(shí)。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。