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將新石墨舟及應(yīng)用超出三年的舊石墨舟飽和狀態(tài)后開展PECVD表層的鍍膜,片間勻稱性差別如圖所示7所顯示。由圖7得知,新石墨舟表面平面度好,石墨舟片導(dǎo)電率一致,塑料薄膜分子結(jié)構(gòu)能夠勻稱地沉積在硅片表面,片間勻稱性更好。
新石墨舟飽和狀態(tài)后在沉積時(shí)仍有一部分等離子技術(shù)在石墨舟上面沉積,運(yùn)作頻次低于三十次時(shí),伴隨著運(yùn)作頻次的提升,石墨舟上面沉積的等離子技術(shù)降低,片間勻稱性越佳。
假如說(shuō)中國(guó)生產(chǎn)石墨舟的生產(chǎn)廠家哪個(gè)技術(shù)水平較強(qiáng),那么就是非石墨莫屬了,石墨生產(chǎn)的PECVD石墨舟有下列特性:
1采用了清除"彩片"的生產(chǎn)技術(shù)性,長(zhǎng)期性加工工藝生產(chǎn)中不造成彩片";
2采用法國(guó)西格內(nèi)進(jìn)口高純度石墨原材料制做,殘?jiān)煞值?,抗壓?qiáng)度高;
3、瓷器拼裝件采用99.9瓷器,耐腐蝕特性強(qiáng),不容易崩裂
4,采用了精密機(jī)械加工機(jī)器設(shè)備,聘用了專業(yè)技術(shù)人員,確保了每一個(gè)零配件的精密度;
5能徹底配對(duì)CT、捷佳偉創(chuàng)、天雄、賽瑞達(dá)、七星華創(chuàng)等生產(chǎn)廠家的火爐。