氮化硅是一種重要的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。它是一種超硬物質(zhì)，本身具有潤滑性，并且耐磨損，為原子晶體；高溫時。而且它還能抵抗冷熱沖擊，在空氣中加熱到1000℃以上，急劇冷卻再急劇加熱，也不會碎裂。正是由于氮化硅陶瓷具有如此優(yōu)異的特性，人們常常利用它來制造軸承、氣輪機葉片、機械密封環(huán)、性模具等機械構(gòu)件。如果用耐高溫而且不易傳熱的氮化硅陶瓷來制造發(fā)動機部件的受熱面，不僅可以提高柴油機質(zhì)量，節(jié)省燃料，而且能夠提高熱效率。我國及美國、日本等國家都已研制出了這種柴油機。本產(chǎn)品用于鋁電解槽可減薄工作層，擴大電解槽的容積，具有高的導(dǎo)熱性能、性能和抗冰晶石侵蝕性能，對高功率鋁電解槽尤為適用。 氮化硅陶瓷材料具有熱穩(wěn)定性高、能力強以及產(chǎn)品尺寸度高等優(yōu)良性能。由于氮化硅是鍵強高的共價化合物，并在空氣中能形成氧化物保護膜，所以還具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性，1200℃以下不被氧化，1200~1600℃生成保護膜可防止進一步氧化，并且不被鋁、鉛、錫、銀、黃銅、鎳等很多種熔融金屬或合金所浸潤或腐蝕，但能被鎂、鎳鉻合金、不銹鋼等熔液所腐蝕。 氮化硅陶瓷材料可用于高溫工程的部件，冶金工業(yè)等方面的耐火材料，化工工業(yè)中抗腐蝕部件和密封部件，機械加工工業(yè)的刀具和刃具等。

如果要在半導(dǎo)體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進行。

等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對較低的真空條件下進行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當使用等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)時，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細碳粒子的硅膠進行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。

氮化硅制品按工藝可以分為反應(yīng)燒結(jié)制品、熱壓制品、常壓燒結(jié)制品、等靜壓燒結(jié)制品和反應(yīng)重燒制品等。其中，反應(yīng)燒結(jié)是一種常用的生產(chǎn)氮化硅耐火制品的方法。

反應(yīng)燒結(jié)法生產(chǎn)氮化硅制品是將磨細的硅粉（粒度一般小于80μm），用機壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮氣中加熱至1350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生產(chǎn)方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響。

由氮化硅廠家提供的氮化硅呈淺灰白色，是在特定氣氛溫度下的生成的新型材料。氮化硅在鋼鐵冶煉、耐火材料、等方面有非常好的應(yīng)用，耐磨橡膠、塑料、陶瓷等常溫及高溫密封磨料方面也有廣泛的應(yīng)用。氮化硅是具有良好的耐腐蝕性能、導(dǎo)熱性、耐熱沖擊和耐磨損性能?？稍谟?800攝氏度以下的溫度使用。被廣泛應(yīng)用于鋼鐵、有色金屬、化工建材等多種行業(yè)，具有節(jié)能、環(huán)保、耐高溫、耐腐蝕等諸多優(yōu)點。氮化硅具有優(yōu)良的分裂耐力性，十分穩(wěn)定的化學(xué)成份和導(dǎo)熱性。具有膨脹系數(shù)小、熱導(dǎo)率大及強度大優(yōu)點。四是高溫耐氧化性好。