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自動(dòng)研磨機(jī)適用于高精微(光鏡,SEM,TEM,AFM,ETC)樣品的半自動(dòng)準(zhǔn)備加工研磨拋光,模塊化制備研磨,平行拋光,角拋光,定址拋光或幾種方式結(jié)合拋光,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體元器件失效分析,IC反向等領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)斷面精細(xì)研磨及拋光、芯片工藝分析、失效點(diǎn)的查找等功能。 其可以預(yù)置程序定位切割不同尺寸的各種材料,可以高速自動(dòng)切割材料,提高樣品生產(chǎn)量。其微處理系統(tǒng)可以根據(jù)材料的材質(zhì)、厚度等調(diào)整步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的切割距離、力度、樣品輸入比率和自動(dòng)進(jìn)刀比率等。
芯片開(kāi)封就是給芯片做手術(shù),通過(guò)開(kāi)封我們可以直觀的觀察芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu),開(kāi)封后可以結(jié)合OM分析判斷樣品現(xiàn)狀和可能產(chǎn)生的原因。Decap即開(kāi)封,也稱(chēng)開(kāi)蓋,開(kāi)帽,指給完整封裝的IC做局部腐蝕,使得IC可以暴露出來(lái),同時(shí)保持芯片功能的完整無(wú)損, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead不受損傷, 為下一步芯片失效分析實(shí)驗(yàn)做準(zhǔn)備,方便觀察或做其他測(cè)試(如FIB,EMMI),Decap后功能正常。