紅外光顯微鏡在生物學(xué)中的應(yīng)用范圍是有限的。當(dāng)用可見光觀察不透明的某些物體時(shí)，在較溉的紅外光區(qū)域就會(huì)變得透明，這種效應(yīng)已經(jīng)被用于研究在某些昆蟲中發(fā)現(xiàn)的滲入黑色素的甲殼質(zhì)層。但是，某些有機(jī)物質(zhì)在2-30微米波長范圍內(nèi)的吸收特性實(shí)際上并沒有應(yīng)用到生物學(xué)物質(zhì)的定性和定量的顯微研究中，除了儀器和像的記錄問題而外，也由于在這種波長范圍內(nèi)分辨力的損失已經(jīng)變得十分引人注目。一個(gè)數(shù)值孔徑為0.6物鏡的小分辨距離大約與所使用的光線的波長是相等的，這就意味著使用一個(gè)這樣孔徑的反射物鏡，以波長為10μm的紅外光觀察一個(gè)直徑為10μm左右的細(xì)胞幾乎是不可能的。


EMMI可廣泛應(yīng)用于偵測各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流，包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(yīng)(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區(qū)域操作的晶體管，可藉由EMMI定位，找熱點(diǎn)(Hot Spot 或找亮點(diǎn))位置，進(jìn)而得知缺陷原因，幫助后續(xù)進(jìn)一步的失效分析。

其實(shí)利用在檢測芯片的過程當(dāng)中，其實(shí)這種方法是非常有效的，關(guān)于emmi分析國內(nèi)目前的技術(shù)通常已經(jīng)達(dá)到了要求，在對芯片進(jìn)行檢測過程當(dāng)中，利用微光顯微鏡它的效果通常是非常明顯的。比如說如果說亮點(diǎn)被遮掩的過程當(dāng)中采用的是利用境外紅波的發(fā)光，通過拋光的處理來進(jìn)行探測，這樣才能夠有效的去發(fā)現(xiàn)金屬歸沉寂的有效缺陷。