干式真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。隨著科學技術的發(fā)展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

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干式真空泵主要有下列幾種形式:

雙圓裂片式

雙圓裂片式設計和目前l(fā)iu行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹di解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復雜。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

三葉圓裂片式

三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優(yōu)點和缺點。真空檢漏設備廠家真空檢漏設備廠家利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

組合式(羅茨 爪)

組合式(羅茨 爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。也有些廠家將其后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

外部壓縮型螺桿式

在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到xiao，同時使得氣體通路短也簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也短。真空泵真空設備檢漏維修深圳銳誠——專業(yè)做真空設備檢漏維修供應商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔?。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

內部壓縮型螺桿式

除了使用一對非等距螺桿以外，內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。

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旋片真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

旋片真空泵主要由泵體(靜子)和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2~3微米。轉子旋轉時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復滑動并與泵腔內壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。轉子順時針方向旋轉時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉子連續(xù)轉動，泵便不斷抽氣。

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真空設備檢漏與維修

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業(yè)對產品質量的重視，氦質譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。氦質譜檢漏方法（以下簡稱氦檢）以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設備完全抽成真空狀態(tài),往往會增加試驗用設備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備；對于大多數壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。