分子泵

分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

水環(huán)泵也有其缺點：效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低，這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa?？傊捎谒h(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易著火、易暴的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。機械安裝：在連接管路中，用戶可在真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。有了這些突出的特點，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。

旋片真空泵使用方法

使用方法1、使用前，應(yīng)仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說明書，開箱后應(yīng)檢查裝運質(zhì)量。收好備品備件和技術(shù)文件，拆除排氣品防護(hù)件。按要求安裝，接線，試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。2、為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油，應(yīng)先開啟泵口，按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中。同時查看油位，應(yīng)在油標(biāo)中心以上，但不要滿油標(biāo)，多了要放出。3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法。把護(hù)套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常是反向?？紤]達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應(yīng)橫裝，并與泵同時動作。5、相對濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時，應(yīng)使用氣鎮(zhèn)閥。

蘇州方歐真空科技有限公司位于蘇州工業(yè)園區(qū)，注冊資金500萬，服務(wù)網(wǎng)點遍布華南華東，主要從事真空泵生產(chǎn)銷售，真空泵維修保養(yǎng)，并提供各式真空系統(tǒng)的技術(shù)解決方案、安裝調(diào)試、保養(yǎng)維修及現(xiàn)場服務(wù)。公司擁有一批專業(yè)的技術(shù)維修團(tuán)隊，在維修方面擁有豐富的經(jīng)驗，設(shè)有維修工廠及檢測設(shè)備，為客戶提供24小時真空泵技術(shù)支持及售后服務(wù)；常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。

譜旭真空泵我們很多行業(yè)都在使用，它的類型也有很多種，能適應(yīng)多種環(huán)境、多種場合、多種行業(yè)進(jìn)行使用。設(shè)備本身也是優(yōu)點眾多，很多人不了解它具體的特點，其實一般歸納起來有以下6點：

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)譜旭真空泵泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；

(4)譜旭真空泵泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)譜旭真空泵壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)譜旭真空泵轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。