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太原電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備價格在線咨詢【沈陽鵬程】

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發(fā)布時間:2020-12-15 15:13  






電子束原理介紹

其實,增速器離人們的生活并不遠?,F(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計算機顯示器所用的顯像管就是一臺小小的電子增速器。顯像管有玻璃密封外殼,內(nèi)部抽成真空。由一端的電子槍產(chǎn)生的電子束(強度受影像訊號控制)經(jīng)過聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運動。與此同時,電子束在偏轉(zhuǎn)電極的作用下,自上而下作水平方向的掃描。電子束焊原理一臺電子增速器,注入的電子能量為20GeV(1GeV=109eV,也就是10億電子伏特),相應(yīng)的電子速度為0。這樣,在顯像管另一端的熒光屏上就形成了明暗程度不同的亮點。

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電子束蒸發(fā)鍍膜機產(chǎn)品介紹

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產(chǎn)品配置:

★樣片數(shù)量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)

★蒸發(fā)材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

★蒸發(fā)腔體:高真空系統(tǒng)。

★蒸發(fā)不均勻性:≤±3%-±5%

★工件架:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)

★加熱:常規(guī)加熱

★電子槍:E型,帶XY偏轉(zhuǎn)掃描

★電子槍坩堝:6穴,17cc

★膜厚監(jiān)控功能:石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制

★清洗功能:可選配離子源清洗

★器件一次成型復合實驗系統(tǒng):通過復合mask系統(tǒng)與樣品對準系統(tǒng),一次完成器件的多個工藝步驟

★檢測與控制光學特性的功能:可選配光控儀

★操作模式:全自動 半自動控制



電子束蒸發(fā)鍍膜機各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度:室溫-150℃。(在10-4Pa時,真空室內(nèi)殘余氣體的組合,水蒸汽約占 90%以上,因此在該壓強下進行蒸鍍,實際上相當于在水蒸汽中制膜,為了減少水份,提高真空室溫,使水分解,是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法)。

2、電控柜:標準電控柜,組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制(分子泵、機械泵電源、擋板等)、數(shù)顯真空計等。柜底下配腳輪,方便移動、定位。

3、手動按鈕式操作,備留機電轉(zhuǎn)換及控制接口,方便實驗記錄.

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電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點

* 渦輪分子泵,串接機械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關(guān)電源,杰出的消弧性能

* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測,可設(shè)置目標膜厚作為工藝終點條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺,提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門,便于放片/取片

* PC全自動控制,具有高度的可重復性

* Labview軟件的計算機全自動工藝控制控

* 多級密碼保護的授權(quán)訪問設(shè)計

* EMO保護以及完全的安全聯(lián)鎖

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