電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是由哪些部分組成的？

以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供，今天我們來分享電子束產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容，希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助！

設(shè)備組成：

設(shè)備由薄膜沉積室、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、水冷卻循環(huán)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測及控制系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)組成。

作用：電子束蒸鍍常用來制備Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蝕和耐高溫氧化膜。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)技術(shù)特點(diǎn)介紹

采用了超高真空密封技術(shù)，極限真空度高，蒸發(fā)室可進(jìn)入10-5Pa量級(jí)（≤5×10-5Pa電子槍靜止?fàn)顟B(tài)），可保證更高的鍍膜純凈度，提高鍍膜質(zhì)量。

超高真空密封主要采用如下技術(shù)：玻璃金屬焊接技術(shù)、陶瓷金屬焊接技術(shù)、刀口無氧銅金屬密封技術(shù)等，整機(jī)主要采用金屬密封技術(shù)，前開門用氟膠圈，真空管路用不銹鋼金屬波紋管路（不用橡膠管路），采用高真空閥門。

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電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備簡介

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備采用完全封閉的系統(tǒng)框架，結(jié)構(gòu)緊湊，外觀更漂亮，使用更安全。DZS800型電子束鍍膜設(shè)備主要用途：用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等，批量生產(chǎn)型。6-10KW e型電子槍可選國產(chǎn)或進(jìn)口，可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物（ITO等氧化物）/導(dǎo)電薄膜/光學(xué)薄膜等。