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脈沖激光沉積介紹
脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsed laser ablation,PLA),是一種利用激光對(duì)物體進(jìn)行轟擊,然后將轟擊出來(lái)的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。
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脈沖激光沉積原理
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脈沖激光沉積原理:在真空環(huán)境下利用脈沖激光對(duì)靶材表面進(jìn)行轟擊,利用激光產(chǎn)生的局域熱量將靶材物質(zhì)轟擊出來(lái),再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。