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真空鍍膜廠家真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法

隨著基礎(chǔ)工業(yè)及高新技術(shù)產(chǎn)品的發(fā)展，對表面改性及涂層技術(shù)的需求向縱深延伸，國內(nèi)外在該領(lǐng)域與相關(guān)學(xué)科相互局勢下，

表面改性與涂層工藝模擬和性能預(yù)測等方面都有著突破的進(jìn)展。以下就和大家介紹一下真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法：

目視監(jiān)控：使用眼睛監(jiān)控，因為薄膜在生長的過程中，由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化，我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有誤差，所以不是很準(zhǔn)確，需要依靠經(jīng)驗。

水晶振蕩監(jiān)控：利用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個不好之處就是當(dāng)膜厚增加到厚度后，振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此時須使用新的石英振蕩片。

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由水平調(diào)整的自準(zhǔn)直儀發(fā)出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，

使反射光束進(jìn)入自準(zhǔn)直儀接收視場，記錄兩維角度偏差。真空鍍膜加工

按有限元計算的真空狀態(tài)下的補(bǔ)償量再次調(diào)整，顯然，此時的反射光束已遠(yuǎn)離自準(zhǔn)直儀接收視場，但一旦真空室進(jìn)入真空狀態(tài)，

反射光束又重新進(jìn)入自準(zhǔn)直儀的接收視場，記錄此時的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

對于真空鍍膜加工單片膜色不均勻產(chǎn)生的原因

主要是由于基片凹凸嚴(yán)重，與傘片曲率差異較大，基片上部、或下部法線與蒸發(fā)源構(gòu)成的蒸發(fā)角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大，形成的膜厚差異大。?

另外鏡片被鏡圈（）邊緣部遮擋、鏡圈（）臟在蒸鍍時污染鏡片等等也會造成膜色差異問題。?

改善思路：改善鏡片邊緣的蒸發(fā)角。

改善對策：?

㈠?條件許可，用行星夾具；?

㈡?選用傘片平坦（R大）的機(jī)臺；?

㈢?根據(jù)傘片孔位分布，基片形狀，制作專門的鋸齒形修正板。?

㈣?如果有可能，把蒸發(fā)源往真空室中間移動，也可改善單片的膜色均勻性。?㈤?改善鏡圈（），防止遮擋。?

㈥?注意旋轉(zhuǎn)傘架的相應(yīng)部位對邊緣鏡片的部分遮擋?㈦?清潔鏡圈（）?㈧?改善膜料蒸發(fā)狀況。