潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染

潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出，近年來，世界IC技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學(xué)品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問題，AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前，國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究，在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成，在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列，而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。

凈化室根據(jù)用途決定凈化等級

凈化室根據(jù)用途決定凈化等級，根據(jù)需要調(diào)節(jié)凈化室溫度、濕度、換氣次數(shù)。溫度可由不銹鋼管道調(diào)節(jié)，也可用凈化室空調(diào)調(diào)節(jié)。濕度根據(jù)具體工藝要求，采用設(shè)備調(diào)節(jié)。根據(jù)不同的凈化要求，我們采用的施工材料、施工工藝都有所不同。千級凈化室，必須采用不銹鋼鋼板做保溫隔離。鋼板接縫處不能有輕微的變形。千級凈化室的隔離鋼板，目前需到北京、上海等地采購。凈化管道可采用不銹鋼管道，鍍鋅管道。管道外部要做保溫處理。管道施工前，管道內(nèi)部潔凈處理十分重要，不能等到全部管道安裝完畢在做潔凈處理。這是施工關(guān)鍵所在。很多工程無法驗收合格于此相關(guān)，應(yīng)特別注意。管道的設(shè)計與凈化室的大小相關(guān)，與送風(fēng)量大小相關(guān)，與凈化要求相關(guān)。凈化空調(diào)的大小，風(fēng)量大小，在具體的施工過程中根據(jù)需要調(diào)節(jié)。由于環(huán)境不同，地理位置不同，施工工藝也不同。要根據(jù)實際要求設(shè)計。例如：同樣是900平方米凈化廠房，里面有50個工人和100個工人就需調(diào)整通風(fēng)管道設(shè)計。設(shè)計時要綜合考慮。根據(jù)經(jīng)驗，具體環(huán)境，調(diào)整設(shè)計。

手術(shù)室空調(diào)機(jī)組的要求及要求

空調(diào)機(jī)組的要求 手術(shù)室空調(diào)機(jī)組的原理與一般空調(diào)無異,但因它對空氣環(huán)境的嚴(yán)謹(jǐn)要求,故需采取特別的措施,包括提高密封性,可靠性,并應(yīng)容易清洗和消毒,應(yīng)滿足以下要求： （1）機(jī)組內(nèi)層采用不滋菌的噴塑冷軋鋼板或不銹鋼板制作,外層采用噴塑鋼板或彩鋼板制作.機(jī)體內(nèi)外層之間灌注聚氨酯發(fā)泡材料,內(nèi)外層不相貼整體發(fā)泡以保證機(jī)組的絕熱性能及漏風(fēng)率,杜絕冷橋及運行時外殼結(jié)露現(xiàn)象的出現(xiàn).內(nèi)層應(yīng)采用圓弧過渡工藝,減少滋菌可能,便于清洗。 （2）新風(fēng)粗效過濾器和中效過濾器應(yīng)采用憎水型大容塵量，過濾器。 （3）機(jī)組電加熱器采用不銹鋼光管制作,表面光滑,耐腐蝕,不易積塵,易清洗。 （4）處于正壓下的表冷盤管應(yīng)確保冷凝水排出順暢,不積水,不設(shè)水封。 （5）中效過濾器設(shè)置在正壓段,應(yīng)確保蒸發(fā)盤管不受塵埃污染,完全避免中效過濾器受潮。 （6）表冷盤管應(yīng)采用消毒滅菌措施,面風(fēng)速不大于2m/s,應(yīng)采用親水膜鋁箔平翅片制作,不會產(chǎn)生積水滋菌及帶水現(xiàn)象。 （7）機(jī)組密封性良好,漏風(fēng)率不應(yīng)大于0.5%。 （8）所有空氣過濾器前后應(yīng)設(shè)有壓差報警裝置,應(yīng)能及時提醒用戶更換過濾器,如采用定期更換,應(yīng)由控制系統(tǒng)定期提醒用戶更換過濾器。 （9）應(yīng)采用室內(nèi)濕度優(yōu)先控制方案,濕控范圍為45~70%,確保潔凈手術(shù)室內(nèi)溫濕度控制及過濾器前風(fēng)管內(nèi)相對濕度不大于75%,防止潮濕空氣導(dǎo)致二次污染。 （10）接水盤采用不銹鋼內(nèi)圓角,大排水坡度,無橫向接縫,消除積水。 （11）采用干蒸汽加濕器或電極式加濕器,確保停機(jī)后加濕器內(nèi)無積水。 （12）風(fēng)機(jī)應(yīng)采用進(jìn)口后傾低噪聲離心式,傳動方式為皮帶傳動。