電子行業(yè)對萬級無塵車間的潔凈度等級要求很高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風、照度等都需在控制范圍內,對靜電的要求極其嚴格。因此,保持萬級無塵車間的濕度尤為重要。太過干燥的廠房內容易產生靜電,造成系統(tǒng)集成損壞。一般來說,萬級無塵車間電子廠房的溫度應控制在22°C左右,相對濕度控制在50%-60%之間。這樣可以有效消除車間內靜電,并使人感覺舒適。在電子行業(yè)中,芯片生產車間、集成電路無塵室屬于萬級無塵車間的重要組成部分,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時對環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪音等也作了嚴格的規(guī)定。
在這方面國內外的科研、設計和制造廠家都做了大量研究開發(fā)工作,取得了許多可用的成果,但是國產過濾器的產品與國際產品相比仍有較大差距,尤其是用于比5級(100級)和要求更嚴格的潔凈室用過濾器、超過濾器的質量、檢測方法等方面存在著較大差距。我國的GB13354-92《空氣過濾器》中規(guī)定,過濾器是采用鈉焰法檢測,其效率達到99.9%以上的過濾器;或對粒徑)0.15m的微粒采用粒子計數(shù)測定法,其效率達到99.999%以上的過濾器。
風淋室、更衣室、凈化處理間是車間凈化系統(tǒng)的三個基本組成部分。風淋室是進出潔凈區(qū)的通道,利用噴出的高速潔凈氣流,可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細菌。凈化處理間選用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環(huán)氧樹脂鋪成。無塵潔凈車間工程的作用是控制產品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵凈化車間。